Термодинамический анализ физико-химического процесса
13

 

Выводы

 

1. Процесс получения сульфида кадмия n-типа электропроводности путем выращивания эпитаксиальных слоев из газообразных компонентов возможен с точки зрения термодинамики при предлагаемых условиях проведения процесса:

TCd = 847 К

TTe2 = 625К

TCdTe = 1200 К

В качестве рекомендаций можно предложить откачать ампулу реактора до максимального высокого вакуума, не использовать  нижние слои полупроводникового соединения.

 

 

 

Приведем принципиальную схему реактора и приблизительное распределение температур:

 

Рис. 4.1. Принциапиальная схема реактора с тремя температурно независимыми зонами: A – для подогрева и испарения Cd, B – для подогрева и испарения Te2, AB – для синтеза CdTe.